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线性电机带你了解光刻机为啥那么受关注

文章出处:同茂电子人气: 发布时间:2018/12/8 13:27:33

线性电机带你了解光刻机为啥那么受关注,光刻机是芯片制造不可缺少的重要设备,目前我国无法制造出高精度的对准系统,故国产光刻机与对美、德国、荷兰产的光刻机相比,小巫见大巫。在过去因为“瓦森纳协定”,我国被限制购进国外的先进光刻机。但 2018年,中芯国际、紫光集团长江存储、华虹集团华力微电子均获得荷兰设备大厂ASML光刻机支援。但是,近日很多人应该看到一则新闻,荷兰有名的ASML光刻机公司,其元件供应商近日发生了大火,预计明年年初出货预计将遭递延。这一消息出来纷纷引来很多人的关注,因为现在正是对于各路芯片制造商的“7纳米大战”关键时刻,可以说是特别的敏感,所以大家对于芯片重要制造设备关注的特别高。

另外,先不说光刻机是芯片制造的重要设备,先了解一下线性电机也是光刻机上的重要设备,因为光刻机的工件台在扫描曝光过程中要求纳米级的定位精度,采用长行程线性电机粗动加洛仑兹电机高精密微动补偿的6自由度复合运动系统能满足要求。为减小微动电机的运动范围和加速度,必须提高线性电机的轨迹跟踪精度。提出了一种开闭环D型迭代学习控制律改善永磁直线同步电动机(PMLSM)的轨迹跟踪性能。控制器由三部分组成:PID控制器用来提高系统对扰动和参数变化的鲁棒性;前馈补偿器可提高系统的实时跟踪性能;迭代学习控制器则通过执行重复任务来不断向理想的控制信号逼近。实验结果表明,这种控制方法可以有效提高系统的轨迹跟踪精度。

昆山同茂十多年来一直在不断改进复杂制造过程的效率与生产力,它推出的线性电机、线性马达、线性模组、线性滑台、音圈马达、音圈模组等产品已经倍受国内外客户信赖,公司的产品已应用到以下领域:激光切割设备行业,半导体生产设备行业,平板显示器行业,印刷设备行业,医疗器械行业,精密检测仪器行业,电子元件表面贴装设备行业,PCB检测设备行业,物流设备行业等。除了运用到这些领域,我们产品也一直在进行新的研发,使得我们的线性电机应用的范围更为宽广。

 

线性电机

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