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在芯片制造中 线性电机是提高精度的好办法

文章出处:同茂电子人气: 发布时间:2021-5-27 13:08:28

在芯片制造中 线性电机是提高精度的好办法。芯片是绝大多数电子设备的核心组成部分,被誉为“工业粮食”。它不仅在智能手机、电视机、计算机、汽车等电子设备方面得到广泛的应用,在军事、通信、遥控等方面也不可或缺,对5G、人工智能、物联网、自动驾驶等都是不可少的基础。然而,芯片制造又是世jie上较为复杂的制造业。

 

以芯片制造中光刻工序为例:首先,在晶圆上涂一层特殊的光刻胶,再将包含数十亿个电路元件的芯片蓝图制作成掩膜,利用光的投影将缩小版的掩膜投影到晶圆的光刻胶膜上。光刻胶膜发生光化学反应,被光照的地方变得可溶于水,经过显影清洗后留下的图案与掩膜上一致。再用特zhi的化学药水蚀刻暴露出来的晶圆,蚀刻完成后,清chu所有光刻胶,便得到纵横交错的电路沟槽。

 

这一工序对于机器设备的要求非常的严谨,尤其是光刻机。由于光刻机要高精度系统来对准光刻制造高精度的对准系统需要具有近乎非常好的精密机械工艺,线性电机便刻机提高精度的好办法,为此,线性电机以其高速、高精度、没有污染的特点,广泛应用于光刻机设备,而且单台设备往往需要多台线性电机另外,随着它的好处越来越多,半导体行业中的多个设备都采用了线性电机。

 

昆山同茂十多年来一直在不断改进复杂制造过程的效率与生产力,它推出的线性电机、线性马达、线性模组、线性滑台、音圈马达、音圈模组等产品已经倍受国内外客户信赖,公司的产品已应用到以下领域:激光切割设备行业,半导体生产设备行业,平板显示器行业,印刷设备行业,精密检测仪器行业,电子元件表面贴装设备行业,PCB检测设备行业,物流设备行业等。除了运用到这些领域,我们产品也一直在进行新的研发,使得我们的线性电机应用的范围更为宽广。

线性电机 

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