线性电机应用于EUV光刻。随着科技发展，现在我们生活中出现了越来越多的电子产品，这些电子产品中很重要的一个部件就是芯片，而且芯片还频繁出现在虚拟现实（VR）、自动驾驶、物联网中，但大家知道吗，为了有好的芯片，还需光刻设备的强力支撑。比如EUV光刻。

据线性电机小编了解，EUV光刻全称为Extreme Ultraviolet Lithography，是一种极紫外线光刻工艺。芯片制造商通过EUV光刻技术，能够持续生产更小、更快、更强大的芯片，同时还能有效控制成本。作为较好的EUV光刻，更需线性电机的驱动。

因为光刻机的工件台在扫描曝光过程中要求纳米级的定位精度,采用长行程线性电机粗动加洛仑兹电机高精密微动补偿的6自由度复合运动系统能满足要求。为减小微动电机的运动范围和加速度, 一种开闭环D型迭代学习控制律还提高了线性电机的轨迹跟踪精度，这些技术的结合为光刻机带来了巨大的好处。可以说线性电机对光刻机是非常重要。

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